| 发明名称 |
Plasmakammer-Wafer-Klemmring mit erosionsresistenten Spitzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29824680(U1) |
申请公布日期 |
2002.02.28 |
| 申请号 |
DE19982024680U |
申请日期 |
1998.12.02 |
| 申请人 |
MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/687 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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