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发明名称 ROTARY ELECTROSTATIC MICROACTUATOR
摘要
申请公布号 EP1181765(A1) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 EP19990967365 申请日期 1999.12.15
申请人 IOLON, INC. 发明人 JERMAN, JOHN, H.;GRADE, JOHN, D.
分类号 G02B26/08;B81B5/00;G02B6/35;G11B7/085;G11B11/105;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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