发明名称 新型金属半导体接触制作肖特基二极管
摘要 本发明主要与肖特基二极管(SBD)的制造方法和结构相关,基于势垒金属与硅接触形成肖特基二极管,利用势垒金属从硅开始至与硅表面接触部分形成的缓冲台阶,可以简便制作SBD,其性能与常规方法制作的SBD相当。
申请公布号 CN1337747A 申请公布日期 2002.02.27
申请号 CN00120878.0 申请日期 2000.08.04
申请人 北京普罗强生半导体有限公司 发明人 陈庆丰
分类号 H01L29/872 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项 本发明主要与肖特基二极管(SBD)的制造方法和结构相关,基于势垒金属与硅接触形成肖特基二极管,利用势垒金属从硅开始至与硅表面接触部分形成的缓冲台阶,可以简便制作SBD,其性能与常规方法制作的SBD相当。
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