行波电极型零空隙定向耦合型光开关

摘要

一种行波电极型零空隙定向耦合型光开关,由上电极、上限层、波导层、下限层、下电极、重掺杂层、衬底构成,重掺杂层和衬底的宽度分别大于上面的上限层、波导层、下限层的宽度,2条下电极分别位于重掺杂层宽出下限层两边部分的上表面,衬底为半绝缘体,厚度比重掺杂层的厚度大得多,是起支持作用。本光开关的开关速度快,实现了调制微波和光波的速度匹配,得到了大于20GHz的调制带宽。

主权项

1、一种行波电极型零空隙定向耦合型光开关，包括上电极[1]、上限层[2]、波导层[3]、下限层[4]、下电极[5]、重掺杂层[6]，其特征在于：所述重掺杂层[6]的宽度大于下限层[4]的宽度，在其两边宽出部分的上面分别布置一条所述的下电极[5]，在重掺杂层[6]的下面设置一层半绝缘的衬底[7]，重掺杂层[6]的厚度小于衬底[7]的厚度。