分配包括热熔粘合剂的流体的系统

摘要

一种用于将包括热熔粘合剂的流体从容器分配到一基片上的系统包括多个连接于主歧管中的流体供应管道的流体分配喷嘴，其中流体是从一流体计量装置供应的。为控制由喷嘴分配的流体，一空气预热器组件可装在喷嘴上以提供加热空气。主歧管有多条设在流体供应管道和容器之间的循环管道。沿每条循环管道设置的单向阀有条件地向容器循环流体。多种循环歧管结构可互换地装在主歧管上以便向容器循环流体。压力表监测各流体供应管道中的压力或平均流体压力。流体计量装置可装在主歧管中的凹部内，其中一共用加热件加热主歧管和流体计量装置。$#!

主权项

1.一种用于将包括热熔粘合剂的流体从一容器分配到一基片上的系统，该系统包括：多个流体分配喷嘴；一个流体计量装置，它具有多个用于从容器供应流体的计量流体出口；多条流体供应管道，每条流体供应管道可连接在流体计量装置的一个计量流体出口和一个相应的流体分配喷嘴之间；多条流体循环管道，每条流体循环管道可连接在一相应的流体供应管道和容器和流体计量装置中的一个之间；其特征在于：多个单向溢流阀，每个溢流阀设置在一相应的流体供应管道和容器和流体计量装置中的一个之间，每个溢流阀当相应流体供应管道中的压力超过阀值压力时独立地将流体从相应的流体供应管道循环至相应的流体循环管道，使流体向着容器和流体计量装置中的一个循环。