| 摘要 |
<p>In einem Verfahren zur Herstellung eines selbsttragenden Pufferelementes, welches mechanische Spannungen zwischen zwei Materialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten vermindern soll und deshalb im wesentlichen unabhängig voneinander expansions- und/oder kontraktionsfähige Bereiche aufweist, wird ein Blech (1) so zu einer dreidimensionalen Struktur (1',1") verformt, dass diese in Gebiete unterteilbar ist, welche im wesentlichen unabhängig voneinander expansions- und/oder kontraktionsfähig sind, worauf die dreidimensionale Struktur (1',1") verpresst wird und zu einer strukturierten Platte (P) verarbeitet wird. Es lassen sich somit einfach herstellbare, stabile und einfach handhabbare Pufferelemente schaffen, welche insbesondere in der Halbleitertechnik ihre Anwendung finden. <IMAGE></p> |
