Fe-M-C系磁性膜及其制造方法

摘要

把Fe－M－C（其中M是从Ti、Zr、Hf、Nb、V、Ta、Mo、W中选择的至少一种金属）作为必要成分，由原子比组成为Fe65—80％、 M6—16％、其余是C形成的磁性膜中，在磁性膜的微细组织中C原子及与之相结合的3—15％的Fe原子形成具有体心立方结构、平均晶粒尺寸为5—14nm的结晶性微聚合体，M原子和C原子形成平均晶粒尺寸为0．5—2的非晶质性微聚合体，两种微聚合体共存。先用溅射法形成上述组成的非晶质膜，再在非氧化性气氛中，500—560℃的低温度下进行30分钟左右的短时间热处理形成这种磁性膜。$#!

主权项

1.一种Fe-M-C系磁性膜，具有按原子比为Fe65-80％，M6-16％及其余C的组成，其中M是从Ti、Zr、Hr、Nb、V、Ta、Mo和W中选择的至少一种金属，结晶性微聚合体和非晶质性微聚合体共存于所述的磁性膜的微细组织中；其特征在于，所述结晶性微聚合体具有所述的C原子和与之结合的3-15％的前述Fe原子构成的体心立方结构，其平均晶粒尺寸是5-14nm；前述非晶质性微聚合体由前述M原子和C原子组成，其平均晶粒尺寸为0.5-2nm。