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发明名称 METHOD AND LAMINATE FOR FABRICATING AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP1181719(A1) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 EP20010905110 申请日期 2001.01.26
申请人 PHILIPS SEMICONDUCTORS INC.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 GABRIEL, CALVIN, TODD;ZHENG, TAMMY, D.;MUIZON, EMMANUEL, DE;LEARD, LINDA, A.
分类号 H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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