| 发明名称 | 激光加工装置 | ||
| 摘要 | 本发明的激光加工装置具备:产生激光的激光振荡器(3);具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统;设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。 | ||
| 申请公布号 | CN1337896A | 申请公布日期 | 2002.02.27 |
| 申请号 | CN99816413.5 | 申请日期 | 1999.03.05 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 大川龙生;祝靖彦;黑泽满树;水野正纪 |
| 分类号 | B23K26/06 | 主分类号 | B23K26/06 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 孙敬国 |
| 主权项 | 1.一种激光加工装置，其特征在于，具备产生激光的激光振荡器；具有形成光路将所述激光振荡器输出的所述激光导向被加工物的电流计式反射镜与fθ透镜的光路系统；设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||