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发明名称 Polishing apparatus
摘要
申请公布号 EP0720891(B1) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 EP19950309033 申请日期 1995.12.12
申请人 FUJIKOSHI MACHINERY CORPORATION 发明人 HASEGAWA, FUMIHIKO;KURODA, YASUYOSHI;TSUCHIYA, TOSHIHIRO;ICHIKAWA, KOICHIRO;INADA, YASUO
分类号 B24B9/00;B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
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