发明名称 METHOD OF STRUCTURING A METAL OR METAL-SILICIDE LAYER AND A CAPACITOR PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD
摘要
申请公布号 KR20020015036(A) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 KR1020017013729 申请日期 2001.10.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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