用于基片载运器的准直器

摘要

一个用于基片载运器或贮盒（100）的基片准直器，包括一个衔接装置（118，122）在关闭时移动和维持一个或多个基片（116）到对准的位置，以及一个操作装置（120，124）用于打开和关闭衔接装置。在一个实施例中，这个衔接装置包括前和后衔接装置以便固定在载运器构架的相对的角落上来承接基片的相对的角。每个衔接装置最好包括一个滚轮（130，132）来承接每个基片相对应的边缘，其中前装置包括二个滚轮以便承接基片的后边和相对的侧边。在这种情况下，这个衔接装置承接每个基片的所有四边以便在关闭时控制和维持基片到基本准直的位置。滚轮最好可以转动以避免基片边缘的刮削否则会产生污染颗粒。进一步，滚轮带有柔软的外表面以便缓冲可能会造成损伤的力。$#!

主权项

1.一个用于基片载运器的基片准直器，这个载运器包括一个构架，以相互分开的位置关系接受和支持多个基片，所述基片准直器包括：一个衔接装置，安装在构架上，在所述衔接装置被移动到关闭位置时衔接和移动多个基片到一个基本对准的位置上，并且在它被移动到打开位置时和多个基片脱离衔接，以便允许插入和抽出多个基片；以及一个操作装置，安装在构架上，并且以可操作方式配合，在所述打开和关闭位置之间移动所述的衔接装置。