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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR COATING BOTH SIDES OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1181725(A1) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 EP20000909271 申请日期 2000.02.29
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 WOERDENWEBER, ROGER;KLEIN, WILFRIED
分类号 C23C14/50;C23C14/54;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/14;C23C14/08 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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