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发明名称
摘要
申请公布号 JP3261278(B2) 申请公布日期 2002.02.25
申请号 JP19950047069 申请日期 1995.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/316;H01L23/48;H01L29/861;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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