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<p>본 발명은 반도체 웨이퍼 건조장치의 경보장치에 관한 것으로, 웨이퍼 용기에 장착되어 증기 소스의 온도를 측정하여 온도감지신호를 발생하는 증기온도센서와, 웨이퍼 용기에 장착되어 웨이퍼 용기내의 대기압을 측정하여 압력측정신호를 발생하는 압력측정센서와, 증기온도센서와 압력측정센서로부터 각각 출력되는 온도감지신호와 압력측정신호를 수신받아 아나로그신호를 디지탈신호로 변환시켜 출력하는 A/D 변환부와, A/D 변환부로부터 출력되는 디지탈 온도감지신호와 압력측정신호를 수신받아 미리 설정되어 저장된 온도와 압력정보와 비교하여 증기 소스의 오염여부를 판단하여 오염이 발생된 경우 경보발생장치를 구동시켜 경보를 발생하는 마이콤으로 구성하여 증기 소스의 오염 여부를 정확하게 감지할 수 있도록 하고 있다.</p> |
