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<p>스테이지장치는 소정의 방향으로 이동가능한 스테이지와, 이 스테이지에 소정의 방향의 힘을 인가하는 제 1유닛과, 제 1유닛 및 이 제 1유닛을 포함하는 구조체중 어느 하나를 이동시키는 이동기구와, 상기 스테이지의 위치 및 이동량중 적어도 하나를 계측하는 제 1계측기와, 제 1유닛 및 구조체중 어느 하나의 위치 및 이동량중 적어도 하나를 계측하는 제 2계측기를 구비하고, 상기 스테이지는 제 1계측기의 계측값에 의거하여 제어되고, 상기 이동기구는 제 2계측기의 계측값에 의거해서 제어되는 것을 특징으로 한다.</p> |
