发明名称 有机电激发光显示面板之光阻剥离方法及其装置
摘要 本发明系提供一种有机电激发光显示面板(以下简称 OLED面板)之光阻剥离方法及其装置,藉由药剂喷洒步骤、刷洗步骤、冲洗步骤、及吹乾步骤等一贯连续作业流程,达到有效剥离OLED面板上光阻的清洁效果、提升制程良率并具备不同尺寸基板之量产的操作弹性。
申请公布号 TW477155 申请公布日期 2002.02.21
申请号 TW089108244 申请日期 2000.05.01
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 张毅;卢添荣
分类号 H05B33/02 主分类号 H05B33/02
代理机构 代理人 周良谋 新竹巿东大路一段一一八号十楼;叶信金 新竹巿武陵路二七一巷五十七弄十号六楼
主权项 1.一种有机电激发光显示面板(以下简称OLED面板)之光阻剥离方法,系以输送装置令OLED面板经以下步骤:药剂喷洒步骤,对OLED面板喷洒可溶解光阻之药剂;刷洗步骤,将OLED面板之光阻刷除;冲洗步骤,以去离子水对OLED喷洒冲洗;及吹乾步骤,以高压空气将OLED表面之液体吹乾。2.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离方法,其中该药剂喷洒步骤之药剂为氢氧化钠溶液、碳酸氢钠或氢氧化钾溶液之一者。3.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离方法,其中该药剂喷洒步骤进行一段行程后,再同时进行药剂喷洒步骤和刷洗步骤一段行程。4.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离方法,其中该冲洗步骤系依序经第一冲洗、第二冲洗及第三冲洗,其中该第二冲洗及第三冲洗系以新鲜之去离子水喷洒冲洗,该第一冲洗系以第二冲洗及第三冲洗所使用过之去离子水来喷洒冲洗。5.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离方法,其中该吹乾步骤之高压空气为风刀。6.一种有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,包括有:一剥离处理槽,系依序具有药剂处理槽、冲洗槽、及吹乾槽,且该药剂处理槽及冲洗槽之底部各设有排液口;一输送装置,系输送OLED面板进出该剥离处理槽;一药剂喷洒装置,对输送于该药剂处理槽之OLED面板喷洒药剂;一刷洗装置,系于该药剂处理槽内设有至少一刷体,藉以对输送于该药剂处理槽之OLED面板刷洗;一冲洗装置,系于该冲洗槽以去离子水对输送于该冲洗槽之OLED面板冲洗;及一空压装置,以高压空气对输送于该吹乾槽之OLED面板进行吹气。7.如申请专利范围第6项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该药剂处理槽分隔成药剂喷洒槽及刷洗槽。8.如申请专利范围第7项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该药剂喷洒槽、刷洗槽、冲洗槽、及吹乾槽于相邻侧边之略等高位置设有开口,该各开口之连线形成一通道。9.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该输送装置设有一马达及多数由该马达传动之滚轮组,该多数之滚轮组系水平排列于剥离处理槽之通道下方,藉以形成一输送带。10.如申请专利范围第9项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该输送装置之每一滚轮组设有一转轴及套合且固定于该转轴上之两轮体,该两轮体可于该转轴上调整间距。11.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该药剂喷洒装置设有:药剂储槽,用来储存前述之药剂;第一药剂喷嘴组,系排列设于药剂喷洒槽内之通道上方及下方,藉以对输送于该药剂喷洒槽之OLED面板进行药剂喷洒;第一药剂泵浦,连通于该药剂储槽,提供高压之药剂自该第一药剂喷嘴组喷出;及第一导管,连通该药剂喷洒槽之排液口及该药剂储槽。12.如申请专利范围第11项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该药剂喷洒装置更加设有:第二药剂喷嘴组,系排列设于刷洗槽内之通道上方及下方,藉以对输送于该刷洗槽之OLED面板进行药剂喷洒;第二药剂泵浦,连通于该药剂储槽,提供高压之药剂自该第二药剂喷嘴组喷出;及第二导管,连通该刷洗槽之排液口及该药剂储槽。13.如申请专利范围第6项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该冲洗槽分隔成第一、二、三冲洗槽。14.如申请专利范围第13项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该冲洗装置设有:第一储液槽,藉以储存去离子水;第二储液槽,藉以储存去离子水;第一喷嘴组,设于该第一冲洗槽内,对输送于该第一冲洗槽之OLED面板冲洗;第二喷嘴组,设于该第二冲洗槽内,对输送于该第二冲洗槽之OLED面板冲洗;第三喷嘴组,设于该第三冲洗槽内,对输送于该第三冲洗槽之OLED面板冲洗;第一水泵浦,连通于该第二储液槽,并将该第二储液槽之去离子水加压至该第一喷嘴组;第二水泵浦,连通于该第一储液槽,并将该第一储液槽之去离子水加压至该第二喷嘴组;第三水泵浦,连通于该第一储液槽,并将该第一储液槽之去离子水加压至该第一喷嘴组;第三导管,连通该第二冲洗槽之排液口及该第二储液槽;及第四导管,连通该第三冲洗槽之排液口及该第二储液槽。15.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该空压装置于该吹乾槽内设有数个吹气嘴,藉以吹出数道风刀,分别由上、下方且呈一斜角吹向通往该清洗槽之通道。16.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该剥离处理槽之药剂喷洒槽前更设有第一缓冲槽17.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该空压装置更于第一缓冲槽设有吹气嘴,以高压空气由上、下方且呈一斜角吹向通往该药剂喷洒槽之通道。18.如申请专利范围第17项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该空压装置之吹气嘴所吹出之高压空气为风刀。19.如申请专利范围第8项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该容槽之刷洗槽和冲洗槽间更设有第二缓冲槽。20.如申请专利范围第19项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该空压装置更于第二缓冲槽设有吹气嘴,以高压空气由上、下方且呈一斜角吹向通往该刷洗槽和冲洗槽之通道。21.如申请专利范围第20项所述之有机电激发光显示面板之光阻剥离装置,其中该空压装置之吹气嘴所吹出之高压空气为风刀。图式简单说明:图1 系本发明较佳实施例之示意图。图2 系本发明较佳实施例之输送装置之滚轮组侧视示意图。
地址 新竹县竹北市仁义路六十五号