| 主权项 |
1.一种分隔壁形成方法,其特征在于所包含之显像制程中,系将水或硷水溶液加压喷射至涂覆于基板上之含无机颗粒之感光性组合物上,其中该感光性组合物之涂覆厚度系大于10微米,并经曝光而呈图型状,用以喷射水或硷水溶液之施加压力为50公斤力/平方公分。2.根据申请专利范围第1项之分隔壁形成方法,其中该含无机颗粒之感光性组合物,乃为包含无机颗粒、经水溶性基团取代之纤维素酯、感光剂、光硬化剂及加水分解聚合性有机金属化合物之分隔壁形成用含无机颗粒之感光性组合物。3.根据申请专利范围第1项之分隔壁形成方法,其中该含无机颗粒之感光性组合物,乃为包含无机颗粒、环氧酯单体、感光剂、光硬化剂及加水分解聚合性有机金属化合物之分隔壁形成用含无机颗粒之感光性组合物。4.根据申请专利范围第1项之分隔壁形成方法,其中以喷射喷嘴使水流扩展为扇形而予以喷射,其系配置单一之喷射喷嘴、或将数个喷射喷嘴配置于扇形扩展方向上,并使感光性组合物在含扇在内之面之直角方向上定速移动,同时通过水或硷水溶液之喷射部份,藉此进行达续之显像处理。5.根据申请专利范围第1项之分隔壁形成方法,其中形成无机物之分隔壁构造之制程系包含:将包含无机颗粒、经水溶性基团取代之纤维素酯单体、感光剂、光硬化剂及加水分解聚合性有机金属化合物之含无机颗粒之感光性组合物涂覆于基板上,使用覆罩以使图型曝光并显像,藉此形成含无机颗粒之感光性组合物之图型,继而将其于400℃-600℃下予以焙烧,以去除有机成份,而形成无机物之分隔壁构造,于此制程中,其特征在于系藉由将水或硷水溶液加压喷射至感光性组合物表面上,以进行显像制程。6.根据申请专利范围第1项之分隔壁形成方法,其中无机颗粒乃为平均粒径为0.1-10微米之玻璃或铝氧粉粒体,而分隔壁之高度为15-300微米。 |
