| 主权项 |
1.一种真空蒸镀机用之回收型光罩治具,用以承载一光罩,包括:一主框架;以及一副框架,可拆离地设置于该主框架上,其中该光罩位于该主框架和该副框架之间。2.如申请专利范围第1项所述的真空蒸镀机用之回收型光罩治具,更包括复数个螺丝,用以将该主框架和该副框架结合。3.如申请专利范围第2项所述的真空蒸镀机用之回收型光罩治具,其中该光罩上设有复数个定位孔,该主框架上设有复数个分别与该等定位孔对应的螺孔,且该副框架上设有复数个分别与该等定位孔对应的穿孔。4.一种真空蒸镀机用之回收型光罩治具,用以承载一光罩,其中该光罩设有复数个第一孔,而该治具包括:一主框架,设有复数个第二孔,其中该等第二孔分别与该等第一孔对应;一副框架,设有复数个第三孔,其中该等第三孔分别与该等第一孔对应;以及复数个连接件,分别与该等第三孔对应,用以依序穿过该等第三孔、该等第二孔和该等第一孔,使该光罩被固定在该主框架和该副框架之间。5.如申请专利范围第4项所述的真空蒸镀机用之回收型光罩治具,其中该等连接件分别为一螺丝。6.如申请专利范围第5项所述的真空蒸镀机用之回收型光罩治具,其中该等第二孔分别为一螺孔。7.如申请专利范围第4项所述的真空蒸镀机用之回收型光罩治具,其中该等连接件分别为一铆钉。图式简单说明:第1图系显示一真空蒸镀机之示意图;第2图系显示习知光罩治具之示意图;第3图系显示本创作之真空蒸镀机用之回收型光罩治具的第一实施例之示意图;以及第4图系显示本创作之真空蒸镀机用之回收型光罩治具的第二实施例之示意图。 |
