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发明名称 Scanning interferometric near-field confocal microscopy with background amplitude reduction and compensation
摘要
申请公布号 US2002021451(A1) 申请公布日期 2002.02.21
申请号 US20010917399 申请日期 2001.07.27
申请人 HILL HENRY A. 发明人 HILL HENRY A.
分类号 G01N21/45;G01Q60/18;G01Q60/22;G02B21/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01N21/45
代理机构 代理人
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