| 摘要 |
<p>Für die Herstellung von passiven Bauelementen auf einem Substrat werden Verfahren angegeben, welche mit geringem Aufwand und guter Ausbeute die Erzeugung unterschiedlicher Bauelemente, insbesondere hochohmige und niederohmige Widerstands-Elemente und/oder Kapazitäts-Elemente mit höherem und solche mit niedrigerem Kapazitätsbelag auf einem Substrat erlauben. Dabei kann auf lift-off-Prozesse weitgehend, insbesondere bei kritischen Strukturierungen verzichtet werden und selektiv trocken- und/oder nasschemisch geätzt werden.</p> |
