MEHRFACHE ÖRTLICHE OXIDATION ZUR MIKROBEARBEITUNG DER OBERFLÄCHE,申请号DE19976009680-传众专利搜索

发明名称	MEHRFACHE ÖRTLICHE OXIDATION ZUR MIKROBEARBEITUNG DER OBERFLÄCHE
摘要
申请公布号	DE69709680(D1)	申请公布日期	2002.02.21
申请号	DE19976009680	申请日期	1997.09.17
申请人	KAVLICO CORP., MOORPARK	发明人	ISMAIL, SALLEH
分类号	B81C99/00;B81C1/00;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	B81C99/00
代理机构		代理人
主权项
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