发明名称 Vibrations-Kontakterfassungssensor
摘要 Ein Taster (20) ist direkt auf einem Detektor (32) angebracht, und der Detektor (32) ist direkt auf einem Halter (10) angebracht. Daher wird ein Vibrations-Kontaktdetektorsensor (1) in einem Zustand ausgebildet, in welchem der Halter (10) und der Taster (20) keine Berührung miteinander aufweisen, und der Taster (20) und der Detektor (32) in Berührung miteinander angeordnet sind. Daher kann eine Abschwächung der Schwingungen und der Zustandsänderungen des Tasters (20) durch den Halter (10) verhindert werden, und können sich Schwingungen und Zustandsänderungen des Tasters (20) direkt zum Detektor (32) ausbreiten, so daß der Detektor (32) Schwingungen und Zustandsänderungen des Tasters (20) mit hoher Empfindlichkeit detektieren kann, und der Kontakt mit einem Werkstück mit hoher Empfindlichkeit detektiert werden kann.
申请公布号 DE10123499(A1) 申请公布日期 2002.02.21
申请号 DE20011023499 申请日期 2001.05.15
申请人 MITUTOYO CORP., KAWASAKI 发明人 MATSUKI, KAORU;HIDAKA, KAZUHIKO;ARAI, MASANORI
分类号 G01B21/00;B23Q17/20;G01B7/00;G01B7/016;H01L41/08;H01L41/12;(IPC1-7):G01B21/04;G12B1/00;G08B13/16 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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