发明名称 Data age adjustments
摘要 A method for compensating data age in measurement signals from an interferometer includes measuring a value of the measurement signal and adjusting the measured value based on the measurement signal with a data age adjustment value to correct for data age.
申请公布号 US2002021449(A1) 申请公布日期 2002.02.21
申请号 US20010855473 申请日期 2001.05.15
申请人 DEMAREST FRANK C. 发明人 DEMAREST FRANK C.
分类号 G01B11/00;G01B9/02;G01J3/45;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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