摘要 |
Eine Bewertungsmethode für polykristallines Silizium, welche die Schritte beinhaltet, das polykristalline Silizium in ein Mittel einzutauchen, welches das polykristalline Silizium auflösen kann, und die Fremdpartikel in dem Mittel zu zählen. Das so bewertete polykristalline Silizium kann als Ausgangsmaterial für das Ziehen von Silizium-Einkristallen verwendet werden. Die Bewertungsmethode kann des weiteren den Schritt veinhalten, die Zusammensetzung der Fremdpartikel zu analysieren. Unter einem anderen Gesichtspunkt kann die Bewertungsmethode des weiteren den Schritt beinhalten, das Mittel vor dem Eintauchen des polykristallinen Siliziums einem Umlauffilterprozeß zu unterziehen.
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