发明名称 Bewertungsmethode für polykristallines Silizium
摘要 Eine Bewertungsmethode für polykristallines Silizium, welche die Schritte beinhaltet, das polykristalline Silizium in ein Mittel einzutauchen, welches das polykristalline Silizium auflösen kann, und die Fremdpartikel in dem Mittel zu zählen. Das so bewertete polykristalline Silizium kann als Ausgangsmaterial für das Ziehen von Silizium-Einkristallen verwendet werden. Die Bewertungsmethode kann des weiteren den Schritt veinhalten, die Zusammensetzung der Fremdpartikel zu analysieren. Unter einem anderen Gesichtspunkt kann die Bewertungsmethode des weiteren den Schritt beinhalten, das Mittel vor dem Eintauchen des polykristallinen Siliziums einem Umlauffilterprozeß zu unterziehen.
申请公布号 DE10129489(A1) 申请公布日期 2002.02.21
申请号 DE20011029489 申请日期 2001.06.21
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP., TOKIO/TOKYO;MITSUBISHI MATERIALS POLYCRYSTALLINE SILICON CORP., YOKKAICHI 发明人 HORI, KENJI;SASAKI, GO
分类号 G01N23/225;C30B15/00;C30B29/06;G01N1/28;G01N15/00;G01N33/00;G01N33/20;(IPC1-7):G01N33/00 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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