Handler zum Transportieren von flachen in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden Substraten

摘要

Es wird ein Handler zum Transportieren von flachen in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden Substraten, insbesondere Wafern (9), zwischen wenigstens zwei Stationen, mit einem bewegbaren flächigen Tragarm (6) zur Aufnahme eines Substrats sowie Mittel zur Lagevorgabe des Substrats im Bereich einer vorgegebenen Stelle auf dem Tragarm (6) vorgeschlagen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Beeinträchtigung der Unterseite eines Substrats durch Auflagestellen sowie eine Partikelgenerierung an Auflagestellen zu vermeiden. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass ein Schwingungserzeuger (4) zur Erzeugung einer longitudinalen Ultraschallschwingung vorgesehen ist, dass der Schwingungserzeuger (4) mit dem Tragarm (6) derart zusammenwirkt, dass auf dem flächigen Tragarm (6) eine im Wesentlichen stationäre Schwingung mit mindestens einem Schwingungsbauch einstellbar ist, die eine Levitation eines darauf abgelegten Substrats (9) ermöglicht, und dass die Mittel zur Lagevorgabe des Substrats für eine laterale Positionierung durch ausschließlich eine Wechselwirkung mit dem Randbereich eines Substrats (9) ausgebildet sind.