| 摘要 |
에칭 장치(100)의 처리실(102)의 상부벽을 형성하는 상부 전극 유닛(103)은 상부 전극(124)을 포함하는 제 1 조립체(202)와 제 1 조립체(202)를 지지하는 제 2 조립체(204)와 전력 공급 경로(178, 172)를 포함하는 제 3 조립체(206)로 구성된다. 제 2 로킹 기구(150)를 해제하고, 제거 기구(208)로 제 3 조립체(206)를 단독으로 분리한 후, 제 1 조립체(202)를 제거하고 상부 전극(124)의 보수를 행한다. 제 2 로킹 기구(150)를 고정하고, 제 1 로킹 기구(200)를 해제한 후, 제거 기구(208)로 제 2 및 제 3 조립체(204, 206)를 제거하고 처리실(102)내를 개방하여 보수를 행한다. 이러한 구성에 의해, 보수를 용이하게 행할 수 있어 작업자의 부담을 경감하는 것이 가능한 플라즈마 처리 장치 및 그 보수 방법이 제공된다. |
