石英玻璃体和石英玻璃支持部件的制造方法

摘要

在现有制造石英玻璃体的方法中,将SiO₂颗粒沉积到围绕其纵轴旋转的圆柱形芯轴(4)的圆柱形外套表面上,以形成基本呈圆柱形的多孔坯件(1),该坯件的一个端面上装有石英玻璃的支持部件(12)。本发明的目的是在现有方法基础上,改进由石英玻璃体制出的产品的重现性。对此本发明提出,采用其亚稳态OH浓度低于30重量ppm的支持部件(2),并且对支持部件(2)进行热预处理。支持多孔石英玻璃坯件的适宜的支持部件(2)的特征在于,它由亚稳态OH浓度低于30重量ppm的石英玻璃构成。

主权项

1.一种制造石英玻璃体的方法，它包括在围绕纵轴旋转的圆柱形芯轴的圆柱形外套表面上的沉积SiO2颗粒，生成基本上呈圆柱形的多孔坯件，该坯件与石英玻璃支持部件在坯件一端面上相连；还包括坯的烧结，其特征在于，所采用的支持部件的亚稳态OH浓度低于30重量ppm，并且该支持部件经受热预处理。