| 发明名称 |
Method for making a first electrode and a second electrode, electronic component and electronic memory element |
| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zum Herstellen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode werden die erste Elektrode und die zweite Elektrode auf einem Elektrodenmaterial bereitgestellt. Mittels einer Cluster-Ionenquelle werden Cluster aus dem Elektrodenmaterial auf die erste Elektrode und/oder die zweite Elektrode aufgebracht. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP1180795(A2) |
申请公布日期 |
2002.02.20 |
| 申请号 |
EP20010118283 |
申请日期 |
2001.07.30 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SARSTEDT, MARGIT, DR. |
| 分类号 |
C23C14/32;H01L21/8242;C23C14/22;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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