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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002505804(A) 申请公布日期 2002.02.19
申请号 JP19980532874 申请日期 1997.12.11
申请人 发明人
分类号 C23C16/02;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/768;H05K3/14;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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