Processo fotolitográfico para a formação de uma agulha de uma peça

摘要

Patente de Invenção: "PROCESSO FOTOLITOGRáFICO PARA A FORMAçãO DE UMA AGULHA DE UMA PEçA". A presente invenção trata da descrição de um método e aparelho para formar uma agulha introdutora de uma peça dotada de uma porção de membro e uma porção de agulha ao introduzir um material fotorresistente em um substrato. A temperatura do substrato é aumentada e então reduzida. Uma fotomáscara é depositada no substrato.