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发明名称 Detection and handling of semiconductor wafers and wafer-like objects
摘要
申请公布号 AU3479901(A) 申请公布日期 2002.02.18
申请号 AU20010034799 申请日期 2001.01.31
申请人 TRU-SI TECHNOLOGIES, INC. 发明人 SEAN A. CASAROTTI;ALEXANDER J. BERGER;FRANK E. KRETZ
分类号 H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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