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发明名称
摘要
申请公布号 JP3257558(B2) 申请公布日期 2002.02.18
申请号 JP20010124890 申请日期 2001.04.23
申请人 发明人
分类号 C23C16/24;C23C16/56;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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