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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EPITAXIALLY GROWING A MATERIAL ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20020012216(A) 申请公布日期 2002.02.15
申请号 KR1020017014328 申请日期 2001.11.09
申请人 发明人
分类号 C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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