| 摘要 |
본 발명은 도브 프리즘 어레이를 포함하는 다중빔 주사기에 관한 것으로, 정밀 인쇄 시스템은 음향-광학 변조기(AOM)가 개별적으로 변조시키는 다중 주사빔을 사용한다. 도브 프리즘과 같은 광학 엘리먼트 어레이는 빔의 중심광선 주위로 각각의 빔을 개별적으로 회전시켜 AOM이 주사방향에 대해 각도를 가지는 음향파의 전파 방향에 의한 흐릿한 에지, 휨 및 선 두께내 변화를 제거한다. 특히, 회전량은 최종 상에서 빔의 단면을 가로질러 진행되는 조사의 방향의 주사방향과 반대되도록 선택된다. 어레이를 제조하는 방법은 막대를 평판에 부착시키는 단계, 막대와 평판의 조합을 연마 또는 연삭하여 프리즘상에 패싯에 해당하는 3개의 평탄한 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 그후 평판으로부터 막대/프리즘을 제거한다. 포토리소그래피를 사용하고 에칭하여 기판내에 홈을 형성하며, 기판상에 홈내에 막대/프리즘을 장착한다. 홈의 이격, 폭 및 깊이를 제어하는 집적회로 가공 기술은 프리즘의 중요 정렬을 정확하게 제어한다. |
