发明名称 |
VERFAHREN ZUR ÜBERTRAGUNG EINER HALBLEITERSCHICHT MITTELS SILIZIUM-AUF-ISOLATOR (SOI) TECHNOLOGIE |
摘要 |
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申请公布号 |
AT212476(T) |
申请公布日期 |
2002.02.15 |
申请号 |
AT19970309194T |
申请日期 |
1997.11.14 |
申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SAKAGUCHI, KIYOFUMI;YONEHARA, TAKAO |
分类号 |
H01L21/304;H01L21/322;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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