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发明名称 Chemisch verstärkte Resist-Zusammensetzungen und Verfahren zur Herstellung von Resist-Mustern
摘要
申请公布号 DE19626003(C2) 申请公布日期 2002.02.14
申请号 DE19961026003 申请日期 1996.06.28
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI 发明人 NOZAKI, KOJI;YANO, EI;WATANABE, KEIJI;NAMIKI, TAKAHISA;IGARASHI, MIWA;KURAMITSU, YOKO;TAKECHI, SATOSHI;KOTACHI, AKIKO;TAKAHASHI, MAKOTO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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