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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Kühlung der Durchlassfensternfolien von einem Elektronstrahlbeschleuniger
摘要
申请公布号
DE69618419(D1)
申请公布日期
2002.02.14
申请号
DE19966018419
申请日期
1996.10.17
申请人
EBARA CORP., TOKIO/TOKYO
发明人
NISHIMURA, TATSUYA
分类号
G21K5/00;G21K5/04;H01J33/04;H05H5/02;H05H7/00;(IPC1-7):H05H7/00
主分类号
G21K5/00
代理机构
代理人
主权项
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