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发明名称 Polyzid-Ätzverfahren für Submikron-Gate-Stapel
摘要
申请公布号 DE69524934(D1) 申请公布日期 2002.02.14
申请号 DE19956024934 申请日期 1995.10.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GREWAL, VIRINDER S.
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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