| 发明名称 | 抗反射涂层组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种抗反射涂层组合物,其至少包含:(a)聚丙烯酸;(b)聚乙烯基吡咯烷酮;(c)C<SUB>n</SUB>F<SUB>2n+1</SUB>COOH(其中,n为整数3～11);和(d)四甲基氢氧化铵。涂敷的光致抗蚀剂膜进行曝光和显影,获得一种具有满意形成的抗蚀剂图案,无T形顶、圆形顶等。 | ||
| 申请公布号 | CN1335945A | 申请公布日期 | 2002.02.13 |
| 申请号 | CN00802540.1 | 申请日期 | 2000.11.08 |
| 申请人 | 克拉瑞特国际有限公司 | 发明人 | 高野祐辅;田中初幸;李东翰 |
| 分类号 | G03F7/11;C08L33/02 | 主分类号 | G03F7/11 |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种抗反射涂层组合物，其至少包含：(a)聚丙烯酸；(b)聚乙烯基吡咯烷酮；(c)CnF2n+1COOH(其中，n为整数3～11)；和(d)四甲基氢氧化铵。 | ||
| 地址 | 瑞士穆滕茨 | ||