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发明名称 Method and apparatus for characterising multilayer thin film systems and for measuring the distance between two surfaces in the presence of thin films
摘要
申请公布号 EP0747666(B1) 申请公布日期 2002.02.13
申请号 EP19960108686 申请日期 1996.05.30
申请人 HOLTRONIC TECHNOLOGIES PLC 发明人 GRAY, SIMON;DANDLIKER, RENE, PROF.;SCHNELL, URBAN
分类号 G01B11/06;G01B11/14;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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