制造电子束装置的方法,制造图像形成装置的方法,用这些制造方法制造的电子束装置和图像形成装置,制造电子源的方法和设备,以及制造图像形成装置的设备

摘要

在使用电子发射元件特别是表面传导型电子发射元件的图像形成装置(电子束装置)的制造工艺中,其上形成布线和元件电极的电子源衬底上的布线与面板的电极相对,在布线与电极之间施加规定电压,从而预先产生放电现象,于是可消除突起等。以这种方式,当对电子源进行电场施加工艺时,就可消除在驱动以图像形成装置为代表的电子束装置中会引起电子源中放电现象的如突起之类的因素,从而实现即使长时间进行图像显示,其显示特性也优良且没有像素缺陷的图像形成装置。

主权项

1.制造电子束装置的方法，在该电子束装置中，在衬底上设置发射电子的电子发射部分和电连接所述电子发射部分的布线，所述方法的特征在于包括：在所述衬底上形成布线的布线形成步骤；和在所述衬底上形成所述电子发射部分的电子发射部分形成工艺步骤； 其中，在完成所述布线形成步骤之后和在完成电子发射部分形成工艺步骤之前，进行对形成所述布线的所述衬底施加规定电场的电场施加工艺步骤。