| 发明名称 | 微细电火花成形电极的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明一种微细电火花成形电极的制造方法,其中包括如下步骤:(1)在导电基底上涂上一层厚度为毫米、亚毫米量级的光刻胶;(2)置于掩模下曝光;(3)显影,得到胶结构;(4)在胶结构上电镀金属或合金;(5)去胶,得到微细电极。 | ||
| 申请公布号 | CN1335659A | 申请公布日期 | 2002.02.13 |
| 申请号 | CN00121477.2 | 申请日期 | 2000.07.25 |
| 申请人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明人 | 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇 |
| 分类号 | H01T21/00;H01T1/24 | 主分类号 | H01T21/00 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种微细电火花成形电极的制造方法，其特征在于，其中包括如下步骤：(1)在导电基底上涂上一层厚度为毫米、亚毫米量级的光刻胶；(2)置于掩模下曝光；(3)显影，得到胶结构；(4)在胶结构上电镀金属或合金；(5)去胶，得到微细电极。 | ||
| 地址 | 100039北京市九一八信箱 | ||