发明名称 DEVICE AND METHOD FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1179287(A1) 申请公布日期 2002.02.13
申请号 EP20000927028 申请日期 2000.04.22
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 WALK, HEINRICH;MADER, ROLAND;BLERSCH, WERNER;HAUF, MARKUS
分类号 H05B7/22;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/268;H05B3/00;(IPC1-7):H05B6/00 主分类号 H05B7/22
代理机构 代理人
主权项
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