| 发明名称 |
A method of and apparatus for heating a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2365117(A) |
申请公布日期 |
2002.02.13 |
| 申请号 |
GB20000018416 |
申请日期 |
2000.07.28 |
| 申请人 |
* PLANER PRODUCTS LIMITED |
发明人 |
PAUL * LAKRA;STEPHEN * BUTLER;ARTHUR HAMBROSE * DAY |
| 分类号 |
H01L21/00;H05K3/34;(IPC1-7):B23K1/012 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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