| 发明名称 |
Graphical User Guidance Method and Apparatus for the Optical Measurement of Layers and Substrates and Software |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren, eine Vorrichtung und eine Software zur Benutzerführung bei der optischen Inspektion und Vermessung von beschichteten und unbeschichteten Substraten mit einem optischen Meßsystem, wobei ein integrierter Rezept- und Daten-Browser mit sortierbaren Merkmalen eingesetzt wird. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP1179841(A2) |
申请公布日期 |
2002.02.13 |
| 申请号 |
EP20010114312 |
申请日期 |
2001.06.13 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS JENA GMBH |
发明人 |
SLODOWSKI, MATTHIAS;IRMER, KARL-HEINZ |
| 分类号 |
H01L21/66;B01D61/02;B01D61/04;B01D61/08;B01D63/02;B01D63/04;B01D65/02;B01D65/06;C02F1/44;G01N21/21;G01N21/95;G01N21/956;G05B19/00;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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