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发明名称
摘要
申请公布号
JP3254635(B2)
申请公布日期
2002.02.12
申请号
JP19910257035
申请日期
1991.09.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;H01L27/092;H03K19/0175;(IPC1-7):H03K19/017;H01L21/823
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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