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发明名称
摘要
申请公布号
JP3254532(B2)
申请公布日期
2002.02.12
申请号
JP19920210122
申请日期
1992.08.06
申请人
发明人
分类号
H01L31/107;(IPC1-7):H01L31/107
主分类号
H01L31/107
代理机构
代理人
主权项
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