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发明名称
摘要
申请公布号
JP3254861(B2)
申请公布日期
2002.02.12
申请号
JP19930294443
申请日期
1993.10.29
申请人
发明人
分类号
C23C14/48;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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