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发明名称
摘要
申请公布号 JP3254574(B2) 申请公布日期 2002.02.12
申请号 JP19960249226 申请日期 1996.08.30
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;B05D1/00;B05D3/10;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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